影响激光切割加工表面质量的因素主要有：切割用激光激光切割加工时所需功率由材料的性质和切割机理决定，切割反射率高、导热性好及熔点高的材料，需较大的激光功率和功率密度。对于汽化切割，所需功率最大，熔化切割次之，反应熔化切割则最小。激光应有高的光束质量。激光切割加工是基于热效应的加工，为得到高的功率密度和精细切口，聚焦光斑直径要小；同时，为保证沿不同方向切割时的质量的一致性，激光束应有良好的绕光轴旋转对称性和圆偏振性以及高的发射方向稳定性，以保证聚焦光斑位置稳定不变。现代激光器还应具备连续和高重复输出、快速切换功能，以保证复杂轮廓的高质量切割。

激光切割加工表面质量包含表面几何形状特征和表面层的物理力学性能两个方面的内容：

1、表面几何形状特征，经任何机械加工方法加工后得到的加工表面都不可能是绝对理想的表面，总有峰谷交替的小波纹，偏离理想的光滑表面，形成微小的几何形状误差，按加工表面特征可分为表面精糙度、表面波度、表面伤痕。

2、表面层的物理力学性能，加工过程中，由于挤压力、磨擦力及切削热的作用，会使工件表层的物理力学性能等产生变化，以及在某些情况下产生化学性质的变化，主要有以下几个方面，表面层加工硬化、表面层金相组织改变，表面层产生的残余应力。

现代模具对零件的工作性能和可靠性的要求越来越高，因此提高激光切割机零件表面质量的要求也越来越高。